实现国内首家在半导体范畴AMHS系统级交付的重年夜冲破

9月25日至27日北京微电子国际钻研会暨IC WORLD年夜会在京盛大召开，弥费科技董事长、CEO缪峰受邀出席并在27日的专题论坛「集成电路专用装备的机缘与挑战」中带来《合用在半导体晶圆厂的国产主动物料传送系统AMHS》的主题演讲，分享半导体晶圆厂国产化AMHS的要害性手艺挑战与市场机遇，并初次公然了在半导体范畴整厂级AMHS国产替换成功交付的最新案例。

作为中国领先的半导体晶圆厂AMHS装备整体解决方案供给商，弥费科技完成了从AMHS产物供给商向AMHS系统级供给商的演进，采取公司AMHS硬件装备和软件的整厂定单已被国内最年夜的专注在车规级碳化硅芯片制造企业广东芯粤能半导体有限公司验收经由过程。此次成功交付展现了弥费科技在该范畴的手艺实力息争决方案的靠得住性，也代表着弥费科技成为国内首家具有晶圆厂整厂级AMHS解决方案、量产能力、项目实行经验和交付案例的国产替换供给商，弥补了国产半导体AMHS系统在该范畴的空白。

AMHS是一套复杂的主动化搬运系统，对工场主动化尤其主要。以年夜陆今朝量产的进步前辈工艺节点28nm为例，其平均光刻层数近50层、工艺步调跨越1000步、出产周期90天摆布，一个4万片月产能28nm工艺节点的全主动晶圆厂天天的晶圆盒传送量超10万次，比拟在晶圆厂AMHS系统，面板厂的传送量仅为半导体晶圆厂的1%。晶圆厂搬送的载体通常为5-10千克的晶圆盒，而面板厂通常为几百斤的玻璃基板，搬送效力和复杂度完全不是一个级别。对面板厂和晶圆厂的AMHS系统来讲，是两套完全分歧的尺度，不克不及兼容。

半导体芯片制造流程复杂，出产工序达上千道，晶圆建造进程手艺要求较高。晶圆厂的AMHS系统由硬件装备和全主动节制软件组成，数目浩繁的AMHS装备在AMHS软件的节制下实现全主动物料智能搬运，实现晶圆厂无人化运转，一套高效的AMHS系统可以在极年夜水平上削减在成品的期待时候，对连结和晋升晶圆厂的产量、稼动率、良率等焦点出产指标相当主要。跟着芯片工艺节点的不竭进级，晶圆厂的工艺制造流程与AMHS系统的连系已成为晶圆厂出产扶植必不成少的主要计划，对晶圆厂相当主要。

*一般一座12寸40nm 40000片月产能的晶圆厂凡是包括约200台天车组成的天车传送系统、约25-30台年夜型存储装备和10000台以上的空中缓存单位，和其他各类情势的传输、存储、净化装备。

"经由过程主动化、智能化的革新可年夜幅晋升装备出产效力和产物良率， AMHS可实现半导体晶圆厂出产线间物料的无尘主动搬运，削减搬运进程的振动，知足半导体的周详化出产需求，晋升半导体的出产效力，已成为浩繁进步前辈晶圆厂的标配。"芯粤能暗示，"此次弥费科技AMHS系统级解决方案验证经由过程并顺遂交付，提高了芯粤能工场的主动化程度，实现了智能化治理，有望帮忙芯粤能年夜幅提高出产效力，包管产物质量不变性。"

弥费科技董事长兼CEO缪峰暗示，本年第四时度，估计弥费科技将进一步实现8英寸和12英寸半导体晶圆厂AMHS的整厂量产交付，这意味着海外寡头在曩昔20～30年对半导体AMHS这一细分赛道上垄断场合排场将被完全打破。弥费科技作为半导体主动化范畴的后起之秀，凭仗优良的产物手艺能力和在行业内获得的杰出口碑，已成为中国境内少少数能供给成套半导体晶圆厂AMHS的中国本土供给商之一。

关在芯粤能

广东芯粤能半导体有限公司（简称："芯粤能"），是一家面向车规级和工控范畴的碳化硅芯片制造和研发企业，产物首要包罗碳化硅SBD/JBS、MOSFET、IGBT等功率器件，首要利用在新能源汽车、工业电源、智能电网和光伏发电等范畴，是今朝国内最年夜的专注在车规级碳化硅芯片制造的企业，别离被广东省、广州市和南沙区列为重点扶植项目。

关在弥费科技

弥费科技（上海）股分有限公司（简称："弥费科技"）是中国领先的半导体AMHS装备和焦点零部件供给商，公司专注在出产、研发、发卖合用在半导体晶圆厂的主动物料搬运系统AMH江南体育S（Automated Material Handling System）。公司总部位在上海，是上海市专精特新企业，国度高新手艺企业；出产基地位在上海临港新片区，是临港新片区集成电路财产重点签约企业。弥费科技作为领先的成套化半导体晶圆厂AMHS中国供给商，不但成功打破了国外厂商对AMHS这一半导体财产链细分范畴的垄断，更实现了产物机能要害指标领先国内手艺，对标国际一流。